晶舟盒清洗机

晶舟盒清洗机

设备概述

手动清洗机台，适用于零部件清洗

 1.1设备目的：使用DIW喷淋方式清洗CASSETTE及BOX

1.2产品尺寸及carrier type：6” CASSETTE及BOX 

1.3产能:  30min可清洗24组CASSETTE及 BOX

1.4清洗能力: 可清洗0.2um以上的particle去除率至少达95%

1.5操作流程：

设定Recipe人工将CASSETT及BOX放置于清洗架上按”Start” 清洗机即依设定之Recipe程序开始清洗程序制程结束(音乐铃及灯号提示) 人工将人工将CASSETT及BOX取出