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YT800000093 光罩推车

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产品编号
产品编号:
YT800000093
产品规格:
可定制
产品品牌:
源拓净化
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¥电议
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订购热线:15221126962

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产品描述
参数

外部尺寸: W1560*D400*H1000
材质: SUS304*1.5MM双镜面
适用于8时晶圆厂光罩盒运输每台可存放8时光罩盒36片
设计规格: 6层*6列, 单面存取
设计类型:全密闭式
底部防静电处理,整体符合静电控制要求
类型可选:开放式,半开放式,自净型、密闭式、氮气保护柜.
 

源拓   源拓
推车内部图   采用双开门设计,底部为空,防止室内扬尘污染光罩
     
源拓  
整体密封处理,即使在通过非洁争区域运输只要不打门的确情况下亦能保证推车柜体内部不会污染  
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