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YT800000018 气体供应系统(GC/BSGS)

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产品编号
产品编号:
YT800000018
产品规格:
依客户需求定制
产品品牌:
源拓净化
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产品描述
参数

产品编号:YT800000018 特殊气体供应系统

源拓提供各种气体管路的设计,施工及调试,主要服务于半导体晶圆厂、LED、新能源、及生物医药等行业

不锈钢制管件是用来传输各种制程气体的主要管件,尤其是传输一些剧毒易燃易爆的危险性气体。所以不锈钢制管件的制作和施工要求在以上几种不同材质的管件中最为严格,一般对于P级要求(×10 -9级)制程气体的输送,均要求采用SUS316材质的EP (Electronic Polishing)管材,对于一般非制程气体的输送采用SUS316材质的BA (Bright Anneal)管材。SUS316作为一种低含碳量的不锈钢材料,它不仅具有抗腐蚀性好的优点,而且对凹洞的抵抗性也很好。由于BA管的制作是经过了溶解、压延(Hot/Cold Rolling)、溶接(Welding)、热处理(Hot treatment)、研磨(Polishing)等复杂过程,其表面粗糙度 Rmax≦4.5mm。EP管材除了表面研磨等过程外,再加以电解研磨及精密洗净技术,其Rmax≦0.7mm[3] 。

 

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