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去光阻清洗机

全自动去光阻清洗机晶圆尺寸:4~12寸 25pcs*1 or 2 cassette槽体:去光阻清洗槽/IPA清洗槽/DI純水槽(可客制) 化学循环/加热控制/浓度控制/流量控制超聲功能/酸/硷/有机..排风及排放分开排 化学药液:CCSS or LCSS 供应 /自动混酸系统可选回收或排放配置:CO2灭火装置/去静电产生器/摄像头软件控制:PC+PLC+GUI控制,可支持SECS GEM/EAP/

产品介绍

全自动去光阻清洗机

晶圆尺寸:

4~12寸 25pcs*1 or 2 cassette

槽体:

去光阻清洗槽/IPA清洗槽/DI純水槽(可客制) 

化学循环/加热控制/浓度控制/流量控制

超聲功能/酸/硷/有机..排风及排放分开排 

化学药液:

CCSS or LCSS 供应 /自动混酸系统

可选回收或排放

配置:

CO2灭火装置/去静电产生器/摄像头

软件控制:

PC+PLC+GUI控制,可支持SECS GEM/EAP/FDS

可靠性:

Uptime≧95%    MTBF≧500 hours

MTTR≦3 hours  Breakage≦1/10000

標準工艺流程:(可客制)

Load →1#去光阻1 → 2#去光阻2 →3# 去光阻3 → 4# IPA 5# QDR → 6# Dryer→ Unload


IMG_4628.JPG


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